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首頁 > 工程案例

多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)

時間:2011-01-11     來源:

多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
 
多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統(tǒng) Bell jar cleaning system
 
  ■適用范圍
  西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘干。
 
  ■工作原理
 
  以高壓水射流為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。
 
  用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,最終保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露,可直接進入生產(chǎn)作業(yè)。
 
  ■系統(tǒng)特點
 
        1)技術(shù)能力強,設(shè)計合理,根據(jù)客戶需求,總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設(shè)計出本套系統(tǒng),實現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計。
 
        2)設(shè)備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。
 
        3)自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
 
        4)適應(yīng)范圍廣:可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
 
        5)節(jié)能、環(huán)保、安全:提供了預(yù)熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
 
        6)德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全,零配件充足。
 
  ■工作流程
 
  還原爐鐘罩到位—預(yù)清洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
 
  注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題。
 
  ■基礎(chǔ)條件
 
  1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。
 
  2)蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。
 
  3)壓縮空氣:不小于流量3NM3/h,壓力0.6-0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣), 指定接口點。
 
  4)脫鹽水:可提供條件,不小于100L/min,到指定接口點。
 
  5)純水:不小于 100L/min,到指定接點。
 
  6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。
 
  7)占地面積:36-80平方米(寬約6-7米,長6-12米
 
  8)三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。
 
  ■設(shè)備組成
 
  1)高壓熱水清洗動力裝置1套
 
由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅(qū)動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。
 
  2)熱風(fēng)凈化烘干機組1套
 
進風(fēng)凈化等級:10萬級。
 
  3)清洗烘干工作臺及管道1套
 
  4)電氣控制系統(tǒng)1套。
 
采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。
 
  注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
 
  ■布置方案
 
  設(shè)備的布置及工藝方案,德高潔可以根據(jù)各使用廠家的鐘罩、廠房、外部環(huán)境的不同情況,做個性化設(shè)計。
 
  1)一樓布置典型方案。全部設(shè)備在1樓清洗間,不防爆。室外取風(fēng)、室外排風(fēng)。
 
        立體圖
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)一樓布置方案立體圖
 
  2)一、二樓布置典型方案。清洗烘干主設(shè)備、主控制柜,在1樓設(shè)備間,不防爆;工作臺及遠程控制箱在2樓工作場地。防爆。
 
        立體圖
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)一、二樓布置方案立體圖
 
多晶硅還原爐鐘罩清洗前后比較
 
  3)一、二、三樓布置,主機一拖二方案。
 
        立體圖
 
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)一、二、三樓布置方案立體圖
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